표면저항측정기의 구성과 원리!

1.면저항을 측정하는 이유 면의 전기적 특성을 알아 보기 위함. 표면의 전류가 얼마나 흐르는지 알 필요가 있다. wafer의 균질성 평가, 스마트폰 터치감 균일성 등을 평가할수 있다. 2. 면저항측정방법 4Point Probe는(4탐침면저항) 4개의 Probe를 일정간격 만큼 일렬로 배열하여 외각의 2개 Probe는 전류를 강제로 흘려주는 forcing을 하면서, 가운데 두개의 Probe로 Voltage 차이를 Sensing 하는 기술이다 V=Voltage between the inner probes (V) I=Current through the outer probes (A) S=Needle spacing (cm) ρ=Resistivity (Ω-cm) ρ = 2∏S (V/I) (Ω-cm) 3.면저항측정기..

2023.03.11